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      我國電子工業部高純水水質試行標準

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      我國電子工業部高純水水質試行標準化學指標單位:
      μg/L
       

      我國電子工業部高純水水質試行標準化學指標單位:μg/L
      序號 水質項目 一級高純水指標 二級高純水指標
      1 電阻率(25℃)MΩ·cm ≥15 ≥10
      2 電導率,μs/cm 0.05 0.1
      3 PH值 6.8~7.2 6.6~7.4
      4 細菌總數,個/mL <3 <9
      5 微粒(直徑>0.5μm,粒/mL) <150 <300
      6 二氧化硅 <10 <20
      7 有機物(以COD計) <0.3 <0.5
      8 鈉 Na <0.5 <2
      9 鐵 Fe <1 <2
      10 銅 Cu <0.5 <1
      11 鈣 Ca <1 <3
      12 鎂 Mg <0.2 <1
      13 鋅 Zn <0.5 <1
      14 錳 Mn <0.2 <0.5

      說明:①一級高純水適用于大規模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導體器件產品?!  、诙壐呒兯m用于一般電路,分立器件以及有相同要求的半導體器件產品?!  、郾颈戆?980年電子工業部標準摘錄。


       
       

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